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聚焦离子束/电子束双束电镜(Helios 5 CX)试运行公告

2025-09-02


taptap国际服最新版聚焦离子束/电子束双束电镜(Helios 5 CX)已经安装完毕,即日起对校内开放试运行,欢迎校内师生预约测试!

 

一、基本参数

1、聚焦离子束/电子束双束电镜(Helios 5 CX

产地:捷克(Thermo Fisher

主要技术参数:

离子源种类(液态Ga离子源)、交叉点分辨率(4.0nm@30kV(采用首选统计法),2.5nm@30kV(采用选边法))、加速电压范围(500V-30kV)、束流强度范围(1pA-100nA)。

电子枪类型(肖特基场发射灯丝)、分辨率(最佳工作距离下:0.6nm@30kV STEM0.6nm@15kV0.9nm@1kV;交叉点分辨率:0.6nm@15kV1.5nm@1kV)、交叉点工作距离(4-5nm)、加速电压范围(200V-30kV连续可调)、束流强度范围(0.8pA-176nA)。

样品室(内径379mm)、样品台(五轴马达驱动样品台,X/Y方向移动范围110mmZ方向移动范围65mmR(旋转)=360°,T(倾斜)=-11°~+57°)。

2、附件配置:

冷冻传输系统(QUORUM PP3010):

电镜内冷台温度范围(-190~室温)、制备腔室冷台温度范围(-190~+50℃)、冷冻腔室(温度范围+110℃至-185℃,可烘烤至+110℃,工作温度范围-15℃至-185℃)。

能谱仪(Oxford UltimMax170):

能量分辨率(Mn Kα保证优于127eV@计数率130,000cpsF Kα保证优于64eV@计数率130,000cpsC Kα保证优于56eV@计数率130,000cps)、元素分析范围(Be4-Cf98)。

阴极荧光系统(Gatan 450.P.WAR):

CCD读谱探头(探测范围200-1100nm)、入口/出口狭缝可调范围(0.01mm-10mm连续可调)、光谱分辨率(<0.1nm@404.6nm)、分光光栅(1200l/mm@500nm,尺寸69mm×69mm

 

二、应用领域

聚焦离子束/电子束双束电镜(Helios 5 CX)具有材料截面结构表征、透射电镜样品制备、三维断层扫描等功能。本台电镜配备独立的冷冻传输系统、能谱仪、电子背散射衍射附件、阴极荧光系统,可对不耐辐照样品进行冷冻断裂、沉积导电层后,再进行微观结构分析以减少辐照损伤,还可在室温下进行材料成分分析、物相鉴定、发光特性研究及缺陷杂质检测等。

 

三、送样须知

1、送样请至少提前一周预约,并说明样品类型及实验条件,试运行期间对校内免费开放冷冻扫描CL光谱测试功能,其他功能(如截面结构表征、透射电镜样品制备、三维重构、EDSEBSD)按照已有收费标准收费运行

2、冷冻扫描测试降温及回温需较长时间稳定,至少预约一天机时。

 

预约请登录://www.hisxg.com/

地点:点点app尖端科技楼101F

联系人胡老师 15623268602

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